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Electron Microscope
TEM Fulean
  • 요약정보
  • Specification
  • 고객지원
- Column 구조의 분해작업 없이 specimen holder만 삽입하는 방법
- 전용 controller 에서 start button만 누르면 됨
TEM-Fulean은 Specimen holder형으로 특수 제작된 이동 통로를 경유하여
column 외부에서 발생시킨 oxygen radicals을  column 내부로 주입하여 cleaning을 수행합니다.
Column내부로 주입된 oxygen radicals은 downstream으로
진행되면서 cleaning 작업을 수행한 후 pumping system으로 빠져나갑니다.