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Electron Microscope
Specimen Cleaner
  • 요약정보
  • Specification
  • 고객지원
- Stand-alone type
- 다량의 시료가 동시에 cleaning 가능한 110mm 시료실
- TEM/SEM Specimen holder 삽입 port
- 고효율의 plasma를 발생 하도록 특화된 진공 chamber
Plasema specimen cleaner는 hydrocarbon contamination 제거 목적으로 고효율의 plasma를 발생 하도록
특화된 진공 chamber를 포함하고 있습니다. Table위에 설치가 가능한 소형의 stand-alone typle으로  설치가
간단하고, 10분 내외의 짧은 시간에 다량의 specimen을 일체의 damage 없이 cleaning 할 수 있도록
개발하였습니다. 또한 TEM/SEM holder에 시료를 장착한 상태로 cleaning 할 수 있게 holder 삽입 port가
있으며. cleaning 이 완료된 후에는 진공상태로 sample을 보존할 수 있도록 설계되어 있습니다.