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Electron Microscope
Nanoprobing SEM Solutions
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- 직관적인 in situ 저전류 측정
- 프로브 팁을 반도체 칩에 접촉하여, 전체 부품의 전기적 특성을 측정하고 결함부분을 분리시킴
- 최대 8개의 독립 나노미터 위치 결정 프로버 miBot™ 장착하여 가장 작은 칩 위에서도 안정적인 전기적 접촉 가능
- SEM의 영구적인 변형이나 전용 현미경 없이 in situ 장치 설치 가능
- Precisio™ 소프트웨어로 완전히 제어 가능한 종합 나노프로빙 워크플로우